XLH-16-XA：SMC 高真空 L 型阀，DN16 波纹管密封，低放气、低重金属污染

一、型号含义与基本参数

型号结构：XLH-16-XA

主要技术参数（典型值）：

二、结构特点与工作原理

结构组成：

• 阀体与法兰：铝合金材质，L 型流道，DN16 法兰接口，符合 ISO-KF(NW) 标准，便于与真空系统快速对接。
• 波纹管密封：采用金属波纹管实现阀杆与阀体之间的动态密封，避免轴封处气体泄漏，同时减少放气量。
• 密封面与阀座：采用 FKM 氟橡胶密封圈，耐化学腐蚀、耐老化，密封可靠。
• 表面处理：外部硬质阳极氧化，内部素面，减少放气与重金属污染，适合洁净环境。
• 驱动方式：手动或气动执行器（根据具体型号配置），操作力矩小，启闭轻便。

工作原理：

XLH-16-XA 为高真空 L 型阀，通过阀杆带动阀板在阀座间运动，实现真空管路的通断控制。当阀板关闭时，阀座与密封圈紧密贴合，切断真空腔室与泵或大气之间的通路；当阀板开启时，L 型流道提供较大流导，对系统抽速影响小。波纹管密封将阀杆与大气隔离，避免轴封处气体泄漏，同时减少放气，保证高真空环境下的密封性能。

三、核心优势

1. 高真空性能与极低泄漏

• 内部泄漏量 ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，外部泄漏量 ≤1.3×10⁻¹¹ Pa·m³/s，满足高真空系统对密封性的严格要求。
• 音速流导约 5 L/s，对系统抽速影响小，有利于快速建立和维持真空度。

2. 波纹管密封，低放气、低污染

• 采用金属波纹管密封阀杆，避免轴封处气体泄漏，同时减少材料放气。
• 阀体铝合金材质，表面硬质阳极氧化，内部素面，放气率低，重金属污染小，适合半导体、光电等洁净环境。

3. 耐化学腐蚀与长寿命

• 密封材质为 FKM 氟橡胶，耐多种化学介质，适用于含氟工艺气体等腐蚀性环境。
• 波纹管可更换设计，关键密封件可单独更换，延长阀门整体使用寿命，降低维护成本。

4. 轻量化与紧凑设计

• 铝合金阀体，重量轻，便于安装与维护。
• L 型流道设计，空间布局紧凑，适合高密度安装的真空系统。

四、典型应用场景

1. 半导体与光电制造

• 真空镀膜设备、PVD/CVD 腔室隔离阀，用于控制工艺气体与真空泵之间的通路。
• 晶圆传输系统、真空锁室阀门，实现高洁净环境下的真空隔离与切换。

2. 科研与实验室设备

• 高真空实验装置、分析仪器（如质谱仪、电子显微镜）的真空管路控制。
• 真空干燥、真空蒸馏、真空反应釜等实验设备的真空隔离与放气控制。

3. 工业真空系统

• 真空泵入口隔离阀，用于保护真空泵，防止返油或工艺气体污染。
• 真空炉、真空钎焊炉、真空热处理设备的真空管路切换与隔离。

4. 医疗与生物技术

• 真空冷冻干燥机、真空灭菌设备、生物反应器等设备的真空控制。
• 洁净室环境下的真空输送与处理系统。

五、安装与使用注意事项

安装要点：

1. 安装前彻底清洁阀体与管路，确保无油污、灰尘、焊渣等杂质，避免污染真空系统。
2. 法兰对接需对中，螺栓均匀紧固，避免单边受力导致密封面变形。
3. 建议在阀前安装过滤器，防止颗粒物进入阀腔，影响密封性能。
4. 安装位置应便于操作与维护，避免高温、强振动或直接溅水环境。

使用注意事项：

1. 使用清洁干燥的压缩空气或惰性气体，避免含油、水、腐蚀性介质。
2. 工作压力不应超过额定范围，避免过载损坏阀门。
3. 启闭操作应平稳，避免快速开关造成冲击，影响密封寿命。
4. 定期检查密封性能，如发现泄漏应及时更换密封件或波纹管。
5. 长期停用前，应进行防锈处理，并定期动作阀门，防止密封件粘连。

维护保养：

1. 定期检查波纹管与密封圈状态，如有老化、裂纹应及时更换。
2. 定期清洁阀体表面与法兰密封面，保持清洁干燥。
3. 长期停用后重新启用时，建议先进行抽真空测试，确认密封性能。
4. 若需更换密封件，应在洁净环境下进行，避免污染阀体内部。

六、选型建议

适合选用 XLH-16-XA 的情况：

• 需要高真空性能、极低泄漏率的真空系统。
• 工作环境对放气与重金属污染有严格要求，如半导体、光电、科研设备。
• 需要耐化学腐蚀，适用于含氟等工艺气体的场合。
• 空间受限，需要紧凑型 L 型阀，便于高密度安装。

选型计算参考：

• 根据系统真空度等级选择密封形式，高真空（≤10⁻³ Pa）建议优先选用波纹管密封结构。
• 按系统最大流量与管路通径选择法兰尺寸，确保流导满足抽速要求。
• 考虑介质腐蚀性，选择适合的密封材质（如 FKM 适用于多数惰性气体与含氟环境）。
• 根据自动化程度与操作频率选择驱动方式（手动、气动或电动）。

七、小结

XLH-16-XA 是一款高真空 L 型阀，采用铝合金阀体、波纹管密封和 FKM 氟橡胶密封圈，具有极低泄漏、低放气、低重金属污染等特点。其 DN16 法兰接口、紧凑 L 型流道设计，使其成为半导体、光电、科研及工业真空系统的理想选择。通过合理的选型、正确的安装和定期的维护，该阀门能够长期稳定运行，为高真空环境提供可靠的通断控制与隔离保护。