XLA-40AH5-2高真空L型阀重新定义洁净传输边界 真空领域·绝对掌控！

一、 产品战略定位：高真空环境的洁净守护者

XLA-40AH5-2是SMC专为高真空系统研发的L型角座阀，采用特殊密封结构和材料工艺，实现10⁻⁶Pa级超高真空环境的可靠隔离与控制，是半导体、光伏、科研等尖端领域的核心基础部件。

二、 极致性能参数

1. 真空性能
   → 极限真空度：≤1.3×10⁻⁶ Pa
   → 漏率：≤1.3×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦质谱检漏）
2. 流通能力
   → 口径：DN40（KF40法兰接口）
   → Cv值：2.5（较直通阀提升40%流通效率）
3. 材料等级
   → 阀体：SUS304/316L不锈钢（EP级抛光）
   → 密封材料：氟橡胶/全氟醚橡胶（可选）
4. 环境适应性
   → 工作温度：-20℃~150℃（高温型可选）
   → 烘烤温度：最高150℃（特殊型号可达250℃）

三、 技术创新突破

🔬 L型流道优化
采用计算流体力学设计的非对称流道，较直通阀流阻降低60%，颗粒产生减少90%

🧪 超高密封技术
→ 波纹管+双重密封结构（主密封+安全备份）
→ 密封表面粗糙度Ra≤0.2μm（镜面级抛光）

⚡ 零泄漏驱动
采用全封闭式波纹管传动，彻底杜绝外部泄漏风险

🧰 洁净表面处理
→ 电抛光（EP）处理，表面粗糙度Ra≤0.8μm
→ 通过AMS 2700E洁净度认证

四、 应用领域矩阵

五、 选型与安装指南

1. 工况匹配
   → 根据介质腐蚀性选择阀体材质（316L/304）
   → 根据温度选择密封材料（FKM/FFKM）
2. 安装要求
   → 建议采用KF系列快装法兰连接
   → 安装前需进行超声波清洗和真空烘烤
3. 使用建议
   → 配套使用SMC真空组件（真空规、抽气单元）
   → 定期进行氦质谱检漏维护

【技术价值宣言】XLA-40AH5-2：不仅是阀门，更是真空系统的保险锁！

在纳米级制造的精密世界，XLA-40AH5-2用四大核心技术重新定义可靠性：

🔒 绝对密封
→ 双冗余密封设计，确保10⁻⁹ Pa·m³/s级密封性能
→ 波纹管传动实现零外泄漏

✨ 极致洁净
→ 镜面级表面处理（Ra≤0.2μm）
→ 通过AMS 2700E最高洁净度认证

⚡ 高效流通
→ L型流道设计，流阻降低60%
→ 较直通阀抽气效率提升40%

🛡 可靠耐久
→ 波纹管寿命＞100万次
→ 支持150℃高温烘烤

选择XLA-40AH5-2的终极价值：
✅ 确保工艺腔室真空度稳定性
✅ 减少产品污染缺陷率
✅ 降低系统维护频率
✅ 提升设备综合利用率