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SMC 支持的行业-半导体行业

SMC 气动装置易于使用、清洁、安全且相对安静 – 创造更好的工作环境 – 同时节省能源并将对环境的影响降至最低。

今天,几乎所有工业部门都可以找到气动元件,并且对具有成本效益的自动化解决方案的需求持续增长。
半导体行业
在半导体制造工艺中,蚀刻设备、溅射设备、离子注入设备和CVD设备通常在真空室中处理晶片。需要精密设备来排出真空室中的空气并向其提供大气压力。阀门、调节器、压力开关、钢瓶和闸阀等优质SMC产品满足无泄漏、清洁规范、耐腐蚀等严格要求。

以下特色产品分类供参考:

氮气/空气供应管线、冷却水和温度控制管线、传输管线、工艺室排气管线和负载锁定室排气管线。

N₂Gas/Air 供应线

SF 洁净气体过滤器
SF 系列洁净空气过滤器有筒式或一次性式两种型号。带有膜元件的装置的过滤水平为 0.01 微米(过滤效率为 99.99%)。SFB20 采用烧结金属元件,标称过滤精度为 120 微米。SF 系列可在不同环境下使用耐化学和耐热材料(请参阅每个系列的目录规格)。

SRH,清洁调节器
SRH 清洁调节器
清洁调节器系列 SRH 是一种污染控制的不锈钢调节器,旨在最大限度地减少残留液体。设计包括隔膜隔间中的进气/排气口,便于流动。SRH具有出色的耐腐蚀性。所有与流体接触的金属部件均使用不锈钢 SUS316。

PF2A7,数字式空气流量传感器,2 色显示,IP65,1-500 Lpm
PF2A 数字流量开关
PF2A7 是一款兼容空气和氮气的数字流量传感器。这是一款传统传感器,具有更新的 PFMB 和 PFMC 传感器提供的更新功能集。3 位 LED 显示屏可显示瞬时流量或累积流量。安装支架集成在机身中,而 M12 引线是可选的。包括 2 个开关输出,每个输出都有一个 LED 指示灯,位于显示屏下方。PF2A 的防护等级为 IP65,符合 CE 和 RoHS 标准。

XVD2,高真空阀,平滑排气
XVD2 平滑排气阀
平滑排气阀系列 XVD2 是一种常闭型阀门,连接类型为 VCR(外螺纹和内螺纹)和世伟洛克。主供气口尺寸为 1/4″,节流孔为 3mm。材料包括 SUS316L(阀体和波纹管)、SUS304(隔膜)和 FKM(阀门和外部密封件)。

为在晶片引入时恢复大气压而提供给真空室的 N 2气体或空气必须具有高度的清洁度。在腔室入口处,气流通过 SF 系列洁净气体过滤器(0.01 µm 颗粒的 100% 过滤效率)和腔室内的不锈钢扩散元件进行整流。SRH 清洁调节器提供恒定压力,PF2A 流量开关可实现精确的流量控制,两者均具有出色的耐腐蚀性,可实现最佳的污染控制。XVD2平滑排气阀用于改变N 2或清洁空气的流量,在开启后的初始阶段缓慢供应,达到一定压力后,切换到主阀进行全供应,以防止粒子湍流。

冷却水温控线
阀门 空气/水
VDW / VX2 过程阀
电磁控制阀适用于一般用途。直动式提升阀有常闭和常开两种。有多种材料可供选择,包括树脂、铝、黄铜和不锈钢。

集成显示
PF3W 数字流量开关
带有按钮和显示屏的液体流量传感器,可从操作员的位置设置和读取数值。

ISE20C(H),数字压力传感器,3屏2输出+模拟,IP65
ISE20C(H) 数字压力传感器
ISE20C 是一款数字压力传感器,可兼容压缩空气和非腐蚀性液体。与 ISE20 相比,ISE20C 增加了第二个开关输出,以及模拟电压或电流输出。ISE20CH 提供 2 MPa 的压力范围。三屏三色显示屏以红色或绿色显示瞬时读数,以橙色显示设置标签及其数值。一旦达到设定压力值,开关输出在1.5ms内响应。ISE20C(H) 符合 UL/CSA、CE 和 RoHS 标准,外壳防护等级为 IP65。

SEMI标准冷水机
HRZ 冷水机
HRZ 循环冷却器特别适用于高科技领域,符合多项 SEMI 设备标准并调节流体温度 ±0.1°C。所有型号均兼容 R404A 和 R134a 制冷剂。提供 4 种冷却能力。该型号与氟化冷却剂兼容,包括 Fluorinert™ 和 GALDEN®。

制冷量:1kW、2kW、4kW、8kW
温度范围设置:-20 至 40°C、20 至 90°C、-20 至 90°C
温度稳定性:±0.1°C
电源要求:三相 200 VAC / 50Hz 或三相 200~208 VAC / 60Hz
标准:CE、UL、SEMI(S2-0703、S8-0701、F47-0200)、SEMATECH(S2-93、S8-95)
循环流体:Fluorinert™ 或 GALDEN®(参见目录以了解兼容性)
为了优化晶圆处理和沉积物去除,每个腔室(尤其是处理腔室)的温度都得到精确控制。SMC 产品,如 VDW/VX2 系列水用 2 通电磁工艺阀、PF3W 系列水用数字流量开关和 ISE80 数字压力开关一起工作,以正确控制和测量对工艺至关重要的冷却水。像我们的 HRZ 系列这样的高性能恒温器用于冷却和保持腔室温度在 ±0.1 ° C以内。

传输线(真空室)
XGT*, 高真空狭缝阀
XGT 高真空狭缝阀
XGT系列狭缝阀适用于半导体制造设备中负载锁定室与传输室之间、传输室与工艺室之间的分隔阀等。
ZSE20C(F),数字真空传感器,3屏2输出+模拟,IP65
ZSE20C(F) 数字压力传感器
ZSE20C(F) 是一款数字真空传感器,可兼容压缩空气和非腐蚀性液体。与 ZSE20 相比,ZSE20C(F) 增加了第二个开关输出,以及模拟电压或电流输出。三屏三色显示屏以红色或绿色显示瞬时读数,以橙色显示设置标签及其数值。一旦达到设定压力值,开关输出在1.5ms内响应。提供真空和复合压力范围。ZSE20C(F) 符合 UL/CSA、CE 和 RoHS 标准,具有 IP65 等级。

SMC无杆气缸,CYV,磁耦合 – 用于高真空环境
CYV真空无杆气缸
没有外部泄漏,CY 系列可用于多种不同的环境。磁耦合气缸具有广泛的应用范围,并节省安装空间。通过使用集成导轨,可以实现负载和力矩。可以使用各种指南来达到您的应用所需的必要精度或允许力矩。CY 有 9 种孔径可供选择,从 6 毫米到 63 毫米,标准冲程高达 1000 毫米。5 种不同的型号提供最广泛的应用选择。自动开关作为标准集成。

传送线将晶片移动通过一系列处理室。在每个腔室中,真空和大气由 XGT 狭缝阀或 XGD 门阀分开。当晶片在腔室之间移动时,腔室用真空泵抽气以保持真空压力。真空压力由 ZSE80 数字压力开关精确监控。通过 CYV 真空无杆气缸可以在传输室内进行晶圆传输。

工艺室排气线
XLH,高真空手动角阀,波纹管密封
XLH 手动高真空角阀
高真空角阀 XL 系列具有出色的导热性,从而使整个阀体的温度均匀,并显着减少阀门内部的气体冷凝。该阀门不含镍(镍)或铬(铬)等重金属,低溅射产量也有助于最大限度地减少半导体晶片的重金属污染。

XLC,铝制高真空角阀,双作用,波纹管密封
XLC 高真空双作用阀
高真空角阀 XL 系列具有出色的导热性,从而使整个阀体的温度均匀,并显着减少阀门内部的气体冷凝。该阀门不含镍(镍)或铬(铬)等重金属,低溅射产量也有助于最大限度地减少半导体晶片的重金属污染。

XLF,铝制高真空角阀,常闭,O型圈密封
XLF 高真空橡胶密封阀
XLF 是一种常闭、单作用高真空角阀,带有 O 形环轴封。XL* 系列与所有系列成员具有​​共同特征。阀体由铝制成,重量轻,导热性好,使整个阀体温度均匀。阀体具有出色的耐氟腐蚀能力。低溅射产量和不含重金属可避免晶圆污染。

工艺室排气管线在干式真空泵和涡轮分子泵之间有一个 XLH 手动高真空角阀。在涡轮分子泵和工艺室之间还有一个 XLC 高真空双作用角阀。当这些阀门关闭时,工艺室中保持真空,并且可以对泵进行维护。通过关闭这些阀门,也可以将工艺“反应”气体引入工艺室。

负载锁定室排气管
XLD,铝制高真空角阀,气动
XLD高真空平滑排气阀
高真空角阀 XL 系列具有出色的导热性,从而使整个阀体的温度均匀,并显着减少阀门内部的气体冷凝。该阀门不含镍(镍)或铬(铬)等重金属,低溅射产量也有助于最大限度地减少半导体晶片的重金属污染。

XLA,铝制高真空角阀,常闭/波纹管密封
XLA 高真空角阀
XLA 系列是高真空角阀,用于使用高真空和工艺气体的工业应用。可能使用这些角阀的常见行业包括半导体、太阳能和其他电子产品生产,以及食品和药品制造。XLA 阀是单作用的,常闭式,在轴和弹簧上带有波纹管密封。在先导端口施加压力时,阀门打开。波纹管组件可以更换,减少维护成本和废料。阀体为硬质阳极氧化 A6063 铝,带有 304 不锈钢阀门和波纹管。许多密封材料可用于广泛的化学兼容性。

XLF,铝制高真空角阀,常闭,O型圈密封
XLF 高真空橡胶密封阀
XLF 是一种常闭、单作用高真空角阀,带有 O 形环轴封。XL* 系列与所有系列成员具有​​共同特征。阀体由铝制成,重量轻,导热性好,使整个阀体温度均匀。阀体具有出色的耐氟腐蚀能力。低溅射产量和不含重金属可避免晶圆污染。

负载锁定室排气管线用于排空传输室和负载锁定室。在引入晶片时,负载锁定室暂时恢复到大气压。在引入晶片后,用干式真空泵排出空气。当压力降低到一定程度时,涡轮分子泵用于排气。旁通回路配有XLD高真空平滑排气阀和高真空角阀(XLA/XLF)。

高纯度氟聚合物
量产
LQ3 氟聚合物接头
SMC 高纯度 Hyperflare™ 接头系列 LQ* 响应了过程控制的最新需求。从零件清洁到组装和包装,所有过程都受到清洁度控制,新 PFA 的使用几乎消除了颗粒生成和 TOC(总有机碳),从而可以放心地用于最苛刻的应用。如果在工艺过程中化学成分或流量要求发生变化,我们的面密封设计允许使用相同的接头体快速更换管道和/或管道直径。

LVQ
LVQ 2 通化学阀
LVQ 系列是一种非金属外壳的 2 通化学阀。高密度 PVDF 外壳提供更高的耐化学性,特殊的隔膜结构确保温和的打开和关闭,防止形成微气泡。LVQ 导向环消除了提升阀的横向运动,从而减少了内部泄漏。

PA3300, 流程泵, 空气先导式, 氟树脂体
PA3300 流程泵
PA 系列是一种双作用、紧凑、大容量的隔膜泵,适用于输送和回收各种流体。PA系列有3种可供选择;自动操作、气动操作或带有内置脉动衰减器的自动操作。

上海达斯奇自动化设备有限公司 2022-08-10

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