SRH4011-04：洁净室专用不锈钢减压阀，高纯度流体控制的精密稳压专家

产品定位

SRH4011-04是SMC SRH系列的一款洁净型减压阀，专为半导体制造、生物医药、食品加工及精密分析仪器等需要高纯度流体控制和无污染环境的应用而设计。该产品采用全不锈钢结构（SUS316L）和无油装配工艺，在Class 100洁净环境中完成组装、检测和双层密封包装，确保对压缩空气、氮气、氩气、二氧化碳及纯水等多种流体的精密无污染稳压控制。

核心亮点：全不锈钢无油设计，洁净稳压

1. 洁净室认证，Class 100环境组装
   • 在Class 100（ISO Class 5）洁净室中完成清洗、组装和检测。
   • 产品经洁净处理后进行双层密封包装，确保开箱即用的高洁净度，杜绝二次污染。
2. 全不锈钢SUS316L主体，耐腐蚀耐污染
   • 阀体采用SUS316L不锈钢材质，接触流体的金属部件均为SUS316，具有优异的耐腐蚀性和抗污染特性。
   • 适用于腐蚀性气体、纯水及高洁净度要求的应用场景。
3. 无油装配工艺，杜绝油雾污染
   • 采用无油装配（Oil-free assembly）工艺，所有零部件在装配前均经过脱脂清洗，确保对下游设备和工艺环境的零油雾污染。
4. 脉动抑制阀结构，稳压性能卓越
   • 独特的脉动抑制阀设计，有效吸收和缓冲气源波动，提供更稳定的输出压力。
   • 膜片室设置进排气口，优化流通性能，确保压力响应灵敏。
5. 膜片材质可选（PTFE/氟橡胶），适应性强
   • 提供两种清洗等级（Washing Grade）的膜片材料：
     • Grade A：膜片为PTFE（聚四氟乙烯），适用于洁净空气、N₂、Ar、CO₂、纯水等对耐化学性要求高的介质。
     • Grade B：膜片为氟橡胶（Fluororubber/FKM），适用于空气、N₂、Ar、CO₂、水等通用介质。
   • 本型号SRH4011-04通常配置为Grade A，满足最高洁净度要求。
6. 溢流型结构，自动排气
   • 采用溢流型（Relief Type）排气机构，当二次侧压力超过设定值时，可自动向大气溢流排气，稳定输出压力。
7. 标准接口规格，安装便捷
   • 接口尺寸为Rc 1/2″（Rc 1/2内螺纹），供气侧与控制侧接口规格一致。
   • 阀体尺寸为4（Size of Body 4），对应3/8″和1/2″接口规格。
   • 无压力表（需另行选配或外接）。

型号解读

规格参数概览

结构与材质

根据SMC技术资料，SRH系列的主要构成部件包括：

适用场景

• 半导体制造：晶圆处理、光刻设备、刻蚀机等对颗粒和金属离子污染敏感的工艺气路控制。
• 生物医药：制药设备、生物反应器、无菌灌装线的洁净气体和纯水供应。
• 食品饮料：灌装机、封口机、清洗设备的洁净气源和纯水控制。
• 精密分析仪器：气相色谱、质谱仪等需要高纯度载气供应的仪器设备。
• LCD/OLED面板制造：洁净室内的气动控制系统和工艺气体调节。
• 光伏产业：太阳能电池片生产中的工艺气体稳压控制。
• 实验室与科研机构：对气体纯度和洁净度有严格要求的实验装置。

小结：高纯度流体控制的洁净稳压核心

SRH4011-04洁净型减压阀以SUS316L全不锈钢主体、PTFE膜片和Class 100洁净室装配三大核心技术优势，完美解决了高纯度流体控制中“需要精密稳压同时杜绝污染”的核心矛盾。其无油装配工艺确保了对下游设备的零油雾污染，脉动抑制阀结构提供了卓越的稳压性能，溢流型设计则保障了压力设定的精确与安全。选择SRH4011-04，意味着为您的洁净工艺系统配置了一个高纯度、高精度且高可靠的流体稳压核心，是半导体、生物医药及精密仪器领域实现工艺稳定与产品质量的基石之选。

注：本型号为高压型（0.05-0.7MPa）、溢流型、Rc1/2接口、无压力表的规格。如需低压型（0.02-0.2MPa）、非溢流型、其他接口规格（如URJF金属垫圈密封接头）或带压力表，请选择对应可选项的型号。膜片材质可根据实际介质需求选择Grade A（PTFE）或Grade B（氟橡胶）。