PF2M710-C6-F：双色显示数字式流量开关，微小流量的精密监测专家

产品定位

PF2M710-C6-F是SMC PF2M7系列的一款2色显示数字式流量开关，采用热式MEMS流量检测技术，专为干燥空气、氮气、氩气等清洁气体的微小流量高精度监测而设计。其紧凑的一体化结构、双画面显示与复合输出功能，使其成为半导体制造、医疗设备、分析仪器及精密气动系统中实现流量可视化和在线监控的理想选择。

核心亮点：MEMS传感，精准可视

1. 热式MEMS传感技术，微小流量高精度
   • 采用热式MEMS（微机电系统）流量检测方式，利用流体流过加热元件时的热传递变化来测量流量。
   • 额定流量范围为0.1～10 L/min，设定流量范围瞬时流量可达-0.5～10.5 L/min，最小单位设定0.01 L/min，实现微小流量的精确捕捉与控制。
2. 双色LCD双画面显示，状态一目了然
   • 配备2色LCD显示屏（红/绿），主画面和子画面均为4位7段显示，可同时显示瞬时流量和累计流量。
   • 显示色可根据输出状态或设定条件自由切换，运行状态直观可视，便于现场监控与调试。
3. 复合输出功能，兼容性强
   • 输出规格为F型：OUT1为PNP开路集电极（开关输出），OUT2为模拟4-20mA输出。
   • 同时提供开关量信号（用于报警、控制）和模拟量信号（用于连续监测、数据采集），可灵活适配PLC、记录仪等多种控制系统。
4. 紧凑轻量，节省空间
   • 配管口径为C6（Φ6mm快插接头），适合小型化气动系统集成。
   • 重量仅0.075 kg（约75g），体积小巧，可在狭窄空间内安装。
5. 快速响应，重复性好
   • 传感器响应时间仅0.05秒，模拟输出响应时间也控制在0.05±40%秒以内，可及时捕捉流量瞬变。
   • 重复精度高达±1% F.S.，确保测量结果的一致性与可靠性。

型号解读

规格参数概览

工作原理

PF2M710-C6-F采用热式MEMS流量传感技术：

• 传感器内部包含一个微型加热元件和对称布置的温度传感器。
• 当流体静止时，加热元件周围的温度场对称分布。
• 当流体流动时，上游侧温度降低，下游侧温度升高，温差与质量流量成比例关系。
• 通过检测温差即可精确计算出流量值，不受流体压力、温度波动的影响，特别适合微小流量测量。

适用场景

• 半导体制造：工艺气体、吹扫气体的流量监测。
• 医疗设备：呼吸机、麻醉机、气体混合器的流量控制与监测。
• 分析仪器：气相色谱、气体分析仪的载气流量监测。
• 精密气动系统：微小气缸、真空发生器的供气流量监测。
• 节能管理：压缩空气泄漏检测、设备耗气量统计分析。
• 环保气体：氮气（N₂）、氩气（Ar）的保护气流量监测。

小结：微小流量监测的智慧之眼

PF2M710-C6-F数字式流量开关以热式MEMS传感技术为核心，将0.01L/min级的微小流量测量精度与双色双画面直观显示完美结合。其复合输出功能（PNP开关+4-20mA模拟）赋予其极强的系统兼容性，紧凑轻量的设计则使其在空间受限的设备中游刃有余。选择PF2M710-C6-F，意味着为您的洁净气体管路配置了一双精准、快速且智能的“流量之眼”，让每一分气流的微小变化都尽在掌握，是提升设备性能、实现精益生产和节能管理的明智选择。